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名 称:湖南德智新材料股份有限公司认 证:工商信息已核实
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产品分类
产品简介
材料及特性
• 基材:等静压石墨(厚度>0.5 mm) | • 涂层:TaC(厚度<300 μm) |
应用场景
晶圆制造
• 单晶生长 | • 外延 |
实现技术
• 精密加工(石墨) | • 低压化学气相沉积(LPCVD) |
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